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1、
2、
给出了采用光栅刻划和镀膜技术相结合研制光盘分束光栅的方法。
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3、
基于精密刻划及薄膜沉积技术的光盘分束光栅研制
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4、
然后，通过MATLAB/Simulink建立了光栅机械刻划颤振仿真模型，研究分析了各动力学参数及刻划工艺参数对颤振的影响规律，并提出了抑振措施。
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